وکیوم خشک(Dry Rotary Vane)
پمپ های وکیوم های خشک از نظر میزان خلاء به چند دسته تقسیم می شوند:
- وکیوم خشک ونتوری(ساید چنل)Ventory(side channel)
پروانه این پمپ ها به گونه طراحی شده است که با سرعت 3000 rpm توربولانت(گردابه هوایی)ایجاد نموده،از یک طرف دهش واز طرف دیگر مکش انجام می دهند.تک پروانه (یک طبقه) تا 300mbar،دو پروانه(دو طبقه) 400mbar سه پروانه (سه طبقه)450mbar خلاء می کند.
-
وکیوم خشک تیغه گرافیتی (کربنی)
این دسته از پمپ ها به dry rotary vane معروف بوده ، طراحی آن مثل روتاری روغنی است ولی تیغه های آن از جنس کربن (گرافیت) بوده ، در سایز خیلی کوچک و حداکثر تا 500 متر مکعب ساخته می شود حداکثر خلاء این پمپ 80mbar می باشد و به oil less معروف اند بر اثر کار مداوم و حرارت ، تیغه ها دارای عمری نزدیک به یکسال دارند و بعد از آن باید تعویض گردند.
- وکیوم خشک دو محوره یا Booster Vacuum
این پمپ ها همان Roots Blower هستند با تغییراتی در Seal Ring قادر به ایجاد خلاء تا 0.001 میلی بار هستند.
روتس بلوئرها در حالت عادی در ورودی دارای خلاء 500mbar می باشد.
با تغییر آب بندی آن میتواند به خلاء 0.01 رسید
پمپ خشک دو محوره
همان اسکرو پمپ ها هستند ، عملکرد این پمپ ها مثل اسکرو ، کمپرسورها بوده ، در دهانه ورودی میتواند خلاءای تا 0.001 میلی بار داشته باشد.
بوستر وکیوم ها هیچکدام به تنهایی قادر به ایجاد خلاء نیستند، حتما باید یک پمپ پشتیبان به خروجی آنها لینک شود (Backiny Pump)
اول پمپ پشتیبان داخل بوستر را وکیوم کرده تا اختلاف فشار به ΔP=50 میلی بار برسد.
سپس بوستر پمپ شروع به کار میکند.
این پمپ ها بصورت پکیچ پمپ های روغنی ، رینگ آبی و اجکتور تا چندین stage سری شده تا به ظرفیت وخلاء برسیم.