پمپ وکیوم دیفیوژن چیست؟
پمپ وکیوم دیفیوژن چیست؟
پمپ وکیوم دیفیوژن یا پمپ بخار، نوعی پمپ خلاء است که برای ایجاد خلاء بالا (high vacuum) در کاربردهای صنعتی و تحقیقاتی استفاده می‌شود. این پمپ با استفاده از جت بخار با سرعت بالا، مولکول‌های گاز را به سمت خروجی هدایت می‌کند. پمپ‌های دیفیوژن معمولاً با یک پمپ مکانیکی (مانند پمپ روتاری) پشتیبانی می‌شوند تا فشار خروجی را در محدوده مطلوب نگه دارند.
نحوه عملکرد:
- پمپ دیفیوژن از یک بویلر حاوی روغن مخصوص (معمولاً روغن سیلیکون یا پلی فنیل اتر) تشکیل شده است. این روغن با استفاده از یک هیتر گرم می‌شود و به بخار تبدیل می‌شود.
- بخار روغن با سرعت بالا از نازل‌ها خارج شده و به سمت جداره سرد پمپ حرکت می‌کند.
- در مسیر، مولکول‌های گازی که باید از محفظه خلاء خارج شوند، با بخار روغن برخورد کرده و توسط آن به سمت خروجی پمپ رانده می‌شوند.
- بخار روغن سرد شده، حاوی مقداری از گازهای پمپ شده است. این گازها با بازگشت روغن به بویلر از آن جدا شده و توسط پمپ پشتیبان (معمولاً پمپ روتاری) تخلیه می‌شوند.
ویژگی‌ها:
- پمپ‌های دیفیوژن می‌توانند خلاء بسیار بالا (تا حدود ۱۰^-۱۰ mbar) ایجاد کنند.
- این پمپ‌ها سرعت پمپاژ بالایی برای تمام گازها دارند.
- هزینه آنها در مقایسه با سایر پمپ‌های خلاء بالا (مانند پمپ‌های توربومولکولار) برای هر واحد سرعت پمپاژ، پایین‌تر است.
- پمپ‌های دیفیوژن نمی‌توانند مستقیماً به اتمسفر تخلیه شوند و نیاز به یک پمپ پشتیبان دارند.
- معمولاً از پمپ‌های روتاری به عنوان پمپ پشتیبان برای پمپ‌های دیفیوژن استفاده می‌شود.
کاربردها:
پمپ‌های دیفیوژن در طیف وسیعی از کاربردها از جمله موارد زیر استفاده می‌شوند:
- صنایع نیمه‌رسانا و الکترونیک
- تحقیقات علمی و آزمایشگاهی (مانند میکروسکوپ الکترونی و طیف‌سنجی جرمی)
- فرآیندهای پوشش‌دهی تحت خلاء (مانند لایه‌نشانی فیزیکی بخار)
- فرآیندهای خشک‌کردن تحت خلاء (مانند خشک‌کردن انجمادی)
- صنایع فضایی و شبیه‌سازی شرایط خلاء
- صنایع شیمیایی و فرآیندهای گاززدایی از مواد مذاب
- تولید لامپ‌های خلاء
تفاوت پمپ وکیوم تک مرحله‌ای و دو مرحله‌ای
کاربرد وکیوم باتوم چیست؟
پمپ وکیوم دیفیوژن چیست؟
اتصالات و شیرالات وکیوم چیست؟
لامپ خلاء (وکیوم) چیست؟
آشنایی با ساختار و راهنمای عیبیابی و تعمیر الکتروموتور
آموزش تعمیر پمپ های شناور
آموزش سرویس و عیبیابی و تعمیر دوزینگ پمپ
انواع نگهداری و تعمیرات پمپ خلاء
تعمیر بلوئر ساید چنل رونتای
