پمپ خلا توربو مولکولی
پمپ توربومولکولی یک نوع پمپ خلاء است که برای ایجاد و حفظ خلاء بالا در سیستمهای مختلف استفاده میشود. این پمپها با استفاده از یک روتور با سرعت بالا که پرههایی دارد، مولکولهای گاز را به سمت خروجی پمپ هدایت میکنند و در نتیجه فشار داخل محفظه را کاهش میدهند. 
نحوه عملکرد:
- پمپهای توربومولکولی دارای یک روتور (پرههای متحرک) هستند که با سرعت بسیار بالا (معمولاً بین ۲۴۰۰۰ تا ۹۰۰۰۰ دور در دقیقه) میچرخند. 
 - این روتور با پرههای ثابت (استاتور) در میان خود قرار دارد و با چرخش خود، مولکولهای گاز را از ورودی پمپ به سمت خروجی هدایت میکند. 
 - به دلیل سرعت بالای چرخش پرهها، مولکولهای گاز با برخورد به پرهها، انرژی جنبشی کسب کرده و در جهت خروجی پمپ حرکت میکنند. 
 - این فرآیند به صورت مداوم تکرار میشود و باعث کاهش تدریجی فشار در محفظه میشود. 
 
ویژگیها:
- ایجاد خلاء بالا:پمپهای توربومولکولی میتوانند به خلاءهای بسیار عمیق دست پیدا کنند.
 - سرعت پمپاژ بالا:این پمپها قادرند با سرعت بالا، گازها را از محفظه تخلیه کنند.
 - ابعاد کوچک:پمپهای توربومولکولی معمولاً ابعاد کوچکی دارند و فضای کمی را اشغال میکنند.
 - عدم نیاز به آب خنککننده:بسیاری از این پمپها نیازی به خنککننده آبی ندارند و با هوا خنک میشوند.
 - قابلیت کار در محدوده خلاء متوسط تا فوقالعاده بالا:این پمپها میتوانند در محدوده خلاء متوسط، بالا و فوقالعاده بالا (UHV) مورد استفاده قرار گیرند.
 - نیاز به پمپ پشتیبان:پمپهای توربومولکولی معمولاً به یک پمپ پشتیبان (مانند پمپ روتاری) برای رسیدن به فشار مورد نظر نیاز دارند.
 
کاربردها:
- صنایع نیمهرسانا: در تولید چیپها و قطعات الکترونیکی.
 - تحقیقات علمی: در آزمایشگاهها و مراکز تحقیقاتی.
 - صنایع فضایی: برای آزمایش تجهیزات در شرایط خلاء.
 - صنایع پزشکی: در دستگاههای تصویربرداری پزشکی و تجهیزات آزمایشگاهی.
 - صنایع پوششدهی: برای ایجاد پوششهای نازک و مقاوم در برابر خوردگی. 
 
مزایا:
- ایجاد خلاء عمیق و تمیز.
 - سرعت بالا در رسیدن به خلاء مورد نظر.
 - قابلیت تنظیم دقیق سرعت پمپاژ.
 - ابعاد کوچک و وزن کم.
 - هزینههای نگهداری پایین (در مقایسه با پمپهای دیفیوژن).
 - عدم نیاز به روغن در بیشتر مدلها. 
 
معایب:
قیمت بالاتر نسبت به برخی از انواع دیگر پمپهای خلاء, حساسیت به ضربه و لرزش, نیاز به پمپ پشتیبان, محدودیت در پمپاژ گازهای سبک. 
پمپ خلا بالا – پمپ خلاء پیستونی – پمپ خلا پزشکی – پمپ خلا توربو – پمپ خلا توربو مولکولی – پمپ خلا تک مرحله ای