پمپ خلا توربو مولکولی
پمپ خلا توربو مولکولی
پمپ توربومولکولی یک نوع پمپ خلاء است که برای ایجاد و حفظ خلاء بالا در سیستم‌های مختلف استفاده می‌شود. این پمپ‌ها با استفاده از یک روتور با سرعت بالا که پره‌هایی دارد، مولکول‌های گاز را به سمت خروجی پمپ هدایت می‌کنند و در نتیجه فشار داخل محفظه را کاهش می‌دهند.
نحوه عملکرد:
- پمپ‌های توربومولکولی دارای یک روتور (پره‌های متحرک) هستند که با سرعت بسیار بالا (معمولاً بین ۲۴۰۰۰ تا ۹۰۰۰۰ دور در دقیقه) می‌چرخند.
- این روتور با پره‌های ثابت (استاتور) در میان خود قرار دارد و با چرخش خود، مولکول‌های گاز را از ورودی پمپ به سمت خروجی هدایت می‌کند.
- به دلیل سرعت بالای چرخش پره‌ها، مولکول‌های گاز با برخورد به پره‌ها، انرژی جنبشی کسب کرده و در جهت خروجی پمپ حرکت می‌کنند.
- این فرآیند به صورت مداوم تکرار می‌شود و باعث کاهش تدریجی فشار در محفظه می‌شود.
ویژگی‌ها:
- ایجاد خلاء بالا:پمپ‌های توربومولکولی می‌توانند به خلاءهای بسیار عمیق دست پیدا کنند.
- سرعت پمپاژ بالا:این پمپ‌ها قادرند با سرعت بالا، گازها را از محفظه تخلیه کنند.
- ابعاد کوچک:پمپ‌های توربومولکولی معمولاً ابعاد کوچکی دارند و فضای کمی را اشغال می‌کنند.
- عدم نیاز به آب خنک‌کننده:بسیاری از این پمپ‌ها نیازی به خنک‌کننده آبی ندارند و با هوا خنک می‌شوند.
- قابلیت کار در محدوده خلاء متوسط تا فوق‌العاده بالا:این پمپ‌ها می‌توانند در محدوده خلاء متوسط، بالا و فوق‌العاده بالا (UHV) مورد استفاده قرار گیرند.
- نیاز به پمپ پشتیبان:پمپ‌های توربومولکولی معمولاً به یک پمپ پشتیبان (مانند پمپ روتاری) برای رسیدن به فشار مورد نظر نیاز دارند.
کاربردها:
- صنایع نیمه‌رسانا: در تولید چیپ‌ها و قطعات الکترونیکی.
- تحقیقات علمی: در آزمایشگاه‌ها و مراکز تحقیقاتی.
- صنایع فضایی: برای آزمایش تجهیزات در شرایط خلاء.
- صنایع پزشکی: در دستگاه‌های تصویربرداری پزشکی و تجهیزات آزمایشگاهی.
- صنایع پوشش‌دهی: برای ایجاد پوشش‌های نازک و مقاوم در برابر خوردگی.
مزایا:
- ایجاد خلاء عمیق و تمیز.
- سرعت بالا در رسیدن به خلاء مورد نظر.
- قابلیت تنظیم دقیق سرعت پمپاژ.
- ابعاد کوچک و وزن کم.
- هزینه‌های نگهداری پایین (در مقایسه با پمپ‌های دیفیوژن).
- عدم نیاز به روغن در بیشتر مدل‌ها.
معایب:
قیمت بالاتر نسبت به برخی از انواع دیگر پمپ‌های خلاء, حساسیت به ضربه و لرزش, نیاز به پمپ پشتیبان, محدودیت در پمپاژ گازهای سبک.
پمپ خلا بالا – پمپ خلاء پیستونی – پمپ خلا پزشکی – پمپ خلا توربو – پمپ خلا توربو مولکولی – پمپ خلا تک مرحله ای
